Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda tobora qattiqroq "nol nuqson" talablari fonida, Lijie 9 dyuymli past xlorli nitril qo'lqoplari o'zining ajoyib past ion qoldig'i va yuqori tozalik ko'rsatkichlari tufayli gofretni qayta ishlash va chiplarni qadoqlash bosqichlarida ajralmas himoya vositasiga aylandi. Ixtisoslashtirilgan ishlov berish orqali qo'lqopning xlor miqdori ≤50ppm da qat'iy nazorat qilinadi - bu sanoat standarti 100ppm dan sezilarli darajada oshib ketadi. Bu gofret yuzalarida xlorid ionlarining migratsiyasi natijasida yuzaga keladigan korroziya xavfini samarali ravishda oldini oladi va yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning mikroskopik ifloslanishni nazorat qilish bo'yicha qat'iy talablariga javob beradi.
Litografiya jarayonlari davomida qo'lqoplarning tozaligi fotorezist qoplamasining aniqligi va ta'sir qilish natijalariga bevosita ta'sir qiladi. 100 000-sinf toza xonalarida ishlab chiqarilgan va lazer bilan changni tozalashga uchragan ushbu mahsulot ISO 3-sinf toza xona standartlariga javob beradigan 0,2 zarrachadan past sirt zarrachalari emissiyasini ko'rsatadi. Bu mikrozarrachalarning plastinka yuzalariga yopishishini samarali ravishda oldini oladi va shu bilan litografiya nuqsonlarini kamaytiradi. 9 dyuymli uzunlikdagi dizayn bilakdan kaftgacha to'liq qoplashni ta'minlaydi. Elastik manjet tuzilishi bilan birgalikda, u litografiya jarayonlarida dinamik toza muhit uchun qat'iy talablarga javob beradigan, yeng teshigida chang to'kilishini samarali ravishda oldini olish bilan birga operatsion moslashuvchanlikni ta'minlaydi.
O'yib ishlov berish va ion implantatsiyasi kabi yuqori darajada korroziyali reagentlar bilan bog'liq jarayonlarda ushbu qo'lqoplar ajoyib kimyoviy qarshilikni namoyish etadi. Gidroflorik kislota va fosfor kislotasi kabi keng tarqalgan yarimo'tkazgichli reagentlar bilan 24 soatlik immersiya sinovlaridan so'ng, ular shishib ketmaydi yoki yorilib ketmaydi, og'irlik o'zgarishi darajasi 0,8% dan past. Bu operatorlar uchun qo'llarni ishonchli himoya qiladi, shu bilan birga qo'lqop shikastlanishidan kelib chiqadigan reagent ifloslanish xavfini yo'q qiladi. Barmoq uchlari 0,02 mm lazer bilan o'yilgan sirpanishga qarshi teksturalarga ega bo'lib, 12 dyuymli plastinkalar bilan ishlashda ishqalanishni 35% ga oshiradi va plastinka sirpanish xavfini 60% ga kamaytiradi. Bu himoya xavfsizligi va operatsion barqarorlik o'rtasidagi muvozanatga erishadi.
Hozirda SEMI F57 standartlari bo'yicha sertifikatlangan ushbu qo'lqoplar SMIC va Hua Hong Semiconductor kabi yetakchi quyish zavodlarining ommaviy ishlab chiqarish liniyalarida qo'llaniladi. Ular qo'l bilan aloqa qilish natijasida yuzaga keladigan plastinka parchalanish tezligini 38% ga kamaytiradi, bu esa toza xonani himoya qilish va operatsion samaradorlikni muvozanatlash uchun yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda ideal tanlovdir.
Nashr vaqti: 2025-yil 11-noyabr